4 月 23 日 台积电 High-NA EUV


台积电在最新技术路线说明会上正式公布先进制程与 EUV 设备的全新调整规划,核心做出重大产能与设备节奏变更:推迟 High-NA EUV 光刻机规模化量产应用,2029 年之前不会落地搭载该设备的量产工艺。此前行业普遍预期,台积电会快速导入天价 High-NA EUV 设备,用于 2nm 以下、1.4nm 及更先进制程研发生产,单台 High-NA EUV 光刻机采购成本高达 3.5 亿欧元,叠加

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